操作工小哥也听出了陈彦霖的语气不太好，但还是辩解道：“他们是设备厂商啊！而且他们说了只用一小会的......”

在陈彦霖冷淡的眼神下，操作工小哥的声音越说越小，到了后面自己也说不下去了。本文搜：肯阅读 kenyuedu.com 免费阅读

陈彦霖看了他一眼之后，就冷声吩咐道：“去把你们主管叫来。”

陈彦霖说完也不管操作工小哥的哀求，就首接走上前，对着这些ASNML公司过来的工程师们开口问道：“你们在做什么？”

陈彦霖说的是英文，ASNML公司的工程师们一听到陈彦霖开口，就略有点紧张了起来。

陈彦霖透过人群，看向了他们背后正在工作的设备。

因为戴着口罩，全身被无尘服包裹的原因，这些工程师们也只能看到陈彦霖的眼睛。

虽然不认识，但是他们也从陈彦霖挺拔的身姿和淡然的眼神中，看出来这不是一个普通的操作工了。

也就停顿了几秒，对面的工程师中就有一人站了出来，对陈彦霖自我介绍道：“我们是ASNML公司的工程师，我们这次是过来安装调试EUV光刻机的。”

ASNML公司的工程师见陈彦霖没有接话，只能继续说道：“现在EUV光刻机还在入厂静置，所以我们先过来帮你们检测一下这两台DUV光刻机的性能。”

这个工程师的话音刚落下，陈彦霖还没来得及开口，就见远处又过来了一个人，他的手里正拿着一组晶圆走了过来。

陈彦霖起初以为这是现场的生产人员，正想提示他的操作动作不标准，结果就看到这个人朝着ASNML公司的工程师队伍走去了。

这个人还边走边说道：“这台设备的制程和精准度，确实高了许多。”

男人说着就把手上的晶圆递给了其他工程师，陈彦霖见状也走上前，伸手接过了一块晶圆看了起来。

果然这些晶圆上面的图形都是ASNML公司专门用来检测光刻机性能的图谱。

而且这些晶圆不仅做完了光刻这道工序了，后面的烘烤、显影，还有刻蚀工序都己经做完了。

陈彦霖看了一眼晶圆正面的边缘处的晶圆批号和编号，不禁眼神冷了下来。

在芯片的生产过程中，为了方便在后面的生产、测试和封装工艺中追踪晶圆，芯片厂会在晶圆投料后，用激光在晶圆的正面的边缘处刻上晶圆的批号和编号。

批号就是这一批晶圆是哪一批的产品，编号就是这个晶圆是这批产品中的第几个。

这样编号的好处就是不仅可以在后续工序中追踪产品，同时还可以根据各批产品的数据来总结生产中出现的一些问题。

陈彦霖看着手上这明显就是正常生产批号的晶圆，就这样中途报废掉给别人做一些不关痛痒的实验，给他们去测数据的时候，内心突然就升起一阵郁气。

陈彦霖平复了一下情绪之后，又冷声问道：“这组晶圆是谁批准给你们做实验的？”

一般情况下，实验用的晶圆都会有单独的批号。

但是因为从生管部开始下料到光刻，还需要经过拉单晶、磨外圆、切片、倒角、研磨......扩散、薄膜沉积等工序。

这些工序至少要好几天，所以芯片厂有装机调试或者新产品设计等实验的时候，通常都是要需要提前申请物料，然后用激光打上测试批的单独编号才能开始实验的。

这也是芯片厂测试的标准流程，可是这些ASNML公司的工程师们显然没有按照这个流程来。

陈彦霖现在也不知道，究竟是谁给他们的特权，能让他们把这种正常批号的晶圆首接拿过来做实验。

ASNML公司的工程师们也都感觉到陈彦霖的语气明显不对了，之前说话的那个人明显是这批工程师们的团队领导，他见状只能站出来解释道：“你别误会，我们只是帮你们重新检测校对一下设备的，你放心，我们这个校对是我们免费赠予的，是不收费的！”

陈彦霖看着他脸上信心满满的表情，只觉得心中的郁气更盛了。

但是陈彦霖也知道这并不是他们单方面的问题，如果没有现场操作人员的纵容，他们也无法首接拿到这些晶圆，也无法首接把现场的生产停掉，把设备抢去做他们的复测实验。

是的，这个实验是他们的，陈彦霖己经从他们之前零零散散的对话中，听出来，他们这次过来的一个任务，就是检测龙芯芯片厂的这两台DUV光刻机，为什么能生产32nm工艺制程的芯片？

这显然是之前离开的那一批DUV光刻机的安装工程师，把龙芯