触式底板的光刻机才是真正的光刻机。”

底板就是掩膜。苏州鸿海公司的工程师们自己给它起了个“底板”的通用名称，唐华已经改不掉了。

王大衍上次回北京的时候已经算是x小组成员了，所以他知道唐华说的话的意思，但还是感叹道：“为了走出这一小步，代价好大啊。”

为了这一堆镜片，王大衍在长春闭关三年，而且把一个研究所和一个光学仪器厂折磨得痛不欲生……

唐华：“我们现在通用计算机、专用计算机都加上，一年产量不过一千多台，所以还看不出效率有太大的差别。未来计算机和各种准系统的年产量会指数上升，到年产一百万台、甚至一千万台，计算机的制造成本也要指数下降，那时候只有非接触式工艺才有前途。”

底板就像底片，上面有集成电路的缩微图样。接触式光刻

机把底板放在硅片上，然后用汞灯照。但这样底板和硅片上的光刻胶会相互污染，其中底板的污染比较要命。

美国曾尝试过用接触式光刻机生产1微米工艺的芯片，结果发现当刻到第五张硅片的时候，掩膜（底板）的线条就开始出现瑕疵，刻到第25张的时候掩膜已完全损坏不可用。

现在x小组刚刚实现10微米工艺，底板的寿命就从16微米的500次缩减到大概200次了。

但早期的技术又不得不让掩膜直接接触硅片，因为这时候用的是汞灯，掩膜哪怕悬浮在硅片上方1毫米处，硅片上照出来的显影图案就马上变糊。

所以得用激光，一束直径100毫米的、完全直射的、均匀的、大功率工业激光。有了它，底板或者说掩膜悬浮起1毫米半毫米也没关系，硅片上依然会显现出清晰的图案。

掩膜不和硅片接触，那光刻胶和底板的相互污染就不存在了，掩膜可以用很久很久。

……

“那咱们回光电所吧，”唐华说，“我还惦记着狗肉呢。说起来，今天应该杀两只狗而不是一只。”

王大衍：“我们不经意间取得了两项重大突破？”

“也不是。但你这个东西搞了出来，那我就可以放心地把集成电路计算机往外卖了。”